一种深紫外显微物镜及其显微镜

本发明涉及显微镜领域，具体涉及一种深紫外显微物镜及其显微镜。包括沿光轴由物方到像方依次设置的前透镜组和后透镜组；所述前透镜组包括沿光轴从物方到像方依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜和第九透镜，所述后透镜组包括沿光轴从物方到像方依次设置的第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜和第十五透镜；本发明提供是无限共轭显微物镜，具有大数值孔径、大视场、物方远心、低畸变、近衍射极限的优势。