一种电子显微镜的图像自动对焦方法

本发明提供一种电子显微镜的图像自动对焦方法，属于电子显微镜自动控制与图像处理技术领域。将样品滴加到电子显微镜载网上，通过电子显微镜的自动对焦功能获得初始聚焦位置；采集初始聚焦位置图像并计算Tenengrad清晰度得分；按预设步长逐次调节焦距，实时采集调节过程中每次调节后的图像并计算对应的Tenengrad清晰度得分；当连续两次调节后Tenengrad清晰度得分均下降时，选择历史Tenengrad清晰度得分最高的聚焦位置作为最佳聚焦位置；以最佳聚焦位置为起点，结合预设步长确定搜索区间；在搜索区间内以Tenengrad清晰度得分作为目标函数，通过黄金分割法迭代搜索获得最终聚焦位置。通过本方法大幅减少采样点与清晰度计算次数，实现高效对焦。