一种基于静电驱动的自对准MEMS微镜

本发明涉及MEMS微镜，具体是一种基于静电驱动的自对准MEMS微镜，包括内层结构和外层结构，内层结构包括矩形镜面、矩形内框、矩形外框，矩形镜面的左右侧面各延伸设置有一个镜面凸台，每个镜面凸台的侧面均延伸设置有两根梳齿梁A，矩形内框的内侧面延伸设置有四排驱动梳齿A，矩形内框的前后外侧面各延伸设置有一个内框凸台，每个内框凸台的侧面均延伸设置有两根梳齿梁B，矩形外框的内侧面延伸设置有四排驱动梳齿B，外层结构包括四根梳齿梁C、矩形底框，矩形底框的每条框边的上表面均固定有一个矩形锚块，每个矩形锚块的内侧面均延伸设置有一排驱动梳齿C。其解决了现有MEMS微镜对光源的利用率较低的问题，适用于投影显示、激光雷达、光通信等领域。