用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法

本发明涉及微机电系统控制技术领域，公开了用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法。该方法包括通过建立包含能量流分析域和机械响应域的时空特性评估模型，同步采集系统的馈入与负载能量波形特征，并并行获取每个微镜的驱动机构应力分布数据和反射面实时姿态数据。将这些数据融合生成多维特征向量，再与预设稳定性边界条件进行比较，从而输出针对性调控策略。该方法实现了从能量传递效率到机械结构内部应力的多维度状态感知，克服了传统方法仅依赖运动反馈的滞后性，能提前识别性能劣化趋势与潜在机械损伤，使控制系统从被动纠错转向主动预警与健康管理，提升了微镜阵列的工作稳定性、适应性及器件使用寿命。