双楔形板像差补偿器、激光加工观测系统、方法及应用

本发明提供了双楔形板像差补偿器、激光加工观测系统、方法及应用，属于光学成像技术领域，包括第一楔形平板，被配置为固定设置；第二楔形平板，其楔形面与所述第一楔形平板的楔形面对顶放置，第一驱动机构，用于驱动所述第二楔形平板用于驱动所述第二楔形平板沿其自身的楔形斜面方向进行直线移动，还包括激光源、显微物镜、观测光路、第二驱动机构，第二驱动机构被配置为承载并驱动所述待加工晶体沿所述显微物镜的光轴方向移动；控制器，被配置为协调控制所述第二楔形平板与所述待加工晶体的位移；采用对顶双楔形板平移机构，实现了等效补偿厚度的连续、线性、精密可调，能够实时、动态地补偿因待加工晶体深度变化而引起的精确光程差。