一种极紫外线光罩保护膜纳米碳管的添加工艺

本发明涉及一种极紫外线光罩保护膜纳米碳管的添加工艺，包括以下步骤:提供基板，所述基板上承载极紫外线EUV光罩保护膜；对纳米碳管进行预处理，以使所述纳米碳管带电；对带电的纳米碳管进行离析处理，以筛选出带电量合规的纳米碳管和/或带电量不合规的纳米碳管；对所述带电量合规的纳米碳管进行直流加速，以使纳米碳管附着在所述基板上，形成初步膜层；以及对所述初步膜层进行膜质调整，形成最终膜层。本发明提供一种集成化、整合工艺，解决了现有工艺分散不均的核心问题，针对光罩保护膜的需求，创新性引入半导体领域的电晕带电与离析工艺，为光罩保护膜带来了全新的性能优化路径或功能实现方式。