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表膜框架和具有表膜框架的表膜组件

발명유효
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§ Ⅰ

개요

IPC 분류

G03F 1/64 (2012.01)G03F 1/62 (2012.01)

公开了一种具有一对框架构件的表膜框架。所述框架构件中的每一个形成为对应于所述表膜的支撑部分的形状。这些框架构件在它们的板表面重叠的情况下相互耦接以形成双层结构。凹陷部分形成在所述框架构件的相对内表面的相互对应的区域上。这些凹陷部分形成当所述框架构件耦接时从所述板表面横向开口的排气孔。过滤器插置在每个排气孔内。这种配置促进所述表膜框架的容易清洁和检查并且最小化在过滤器材料的加工期间的颗粒生成。附加地,它提供足以保护所述薄膜免受所述表膜框架的内部空间内的压力变化影响的效果,从而防止对所述薄膜的损坏。