一种KDP晶体表面减反射纳米结构阵列的压印方法

一种KDP晶体表面减反射纳米结构阵列的压印方法，属于超精密加工技术领域。方法如下：将KDP晶体固定于样品夹具上；完成压头与KDP晶体的调平；设定加工参数；启动微力加工模块，在KDP晶体表面加工出深度一致的纳米结构阵列；对加工后的KDP晶体表面进行检测；若满足反射率且透过率＞99%，则结束，否则优化加工参数直至满足。本发明降低KDP晶体表面纳米结构制备的复杂度，有效解决软脆晶体易损伤问题，实现大面积纳米结构阵列的高效、低损伤制备，解决传统增透膜带宽有限及易老化问题，满足高功率激光系统对光学元件的大面积、低损伤、高一致性的工程化需求。