高分辨率锆氧簇光刻胶的制备及利用其形成光刻图案的方法

高分辨率锆氧簇光刻胶的制备及利用其形成光刻图案的方法，其属于光刻胶的技术领域。该光刻胶中锆基金属氧纳米团簇为核壳结构，通式为ZrO(OH)L,其中L为有机羧酸配体，且为饱和烷烃基团羧酸(2≤x≤8，12≤y≤16)。同时将锆基金属氧纳米团簇作为光刻胶组合物主体，对光刻胶性能进行优化的过程，其组合中包含锆基金属氧纳米团簇；酮酸类化合物、醇类化合物、砜类化合物以及溶剂。通过将上述锆基金属有机纳米颗粒作为光刻胶主体，通过电子束光刻测试，分析了饱和烷烃羧酸配体对其光刻灵敏度的影响，并且利用面曝光光刻出L/S=2/1极高分辨率的图案，同时利用线曝光，最小关键尺寸可达9 nm。