抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案的制造方法

本发明提供抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案的制造方法。目的在于提供能够制造析像度优异、具有良好的形状和耐裂纹性的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。所述抗蚀剂组合物含有树脂（A）和式（b1）所示的产酸剂（B），所述树脂（A）包含具有酸不稳定基团的结构单元，树脂（A）含有：树脂（A1）：包含式（a2‑2）所示的结构单元和式（a1‑1）所示的结构单元、且不包含式（a1‑2）所示的结构单元和式（a2‑1）所示的结构单元的树脂，树脂（A2）：包含式（a1‑1）所示的结构单元和式（a2‑1）所示的结构单元、且不包含式（a1‑2）所示的结构单元的树脂。［式中的定义如说明书中所记载。］。