半导体设备供液系统

本发明提供了一种半导体设备供液系统，包括胶瓶、供气管路、药液缓存瓶以及药液驱动装置，药液缓存瓶通过单一连接管路与所述胶瓶连通，连接管路上设置有第一通断阀以及出液传感器，药液缓存瓶包括至少两个腔室，每个腔室均与药液缓存瓶的进液端连通，每个腔室均具有出液端，出液端均连接有供胶管路，供胶管路用于与工艺端连接，药液驱动装置设置于供胶管路上，用于从所述出液端抽取液体供应到工艺端。该半导体设备供液系统减少了通断阀、传感器元器件的使用数量和系统占用空间，控制逻辑更为简单、可靠，而且从物理上消除了产生憋压和回流的条件，提高了系统运行的稳定性和可靠性。