一种高效率的led平面扫描曝光的方法

本发明公开了一种高效率的led平面扫描曝光的方法，包括下述工序：S1:待曝光基材以及图案板重叠后放置在曝光机内；S2：LED灯板高功率启动；S3：LED灯板从待曝光基材的前端平行移动至后端；S4：LED灯板原地等待并降低功率；S5：将LED灯板移动至待曝光基材的正上方并进行曝光；S6：关闭LED灯板并复位；S7：取出待曝光基材以及图案板，通过采用高功率的LED灯板高能量扫描式对待曝光基材曝光一次，使其表面聚合反应固化一层隔氧层，再进行平面曝光，在隔氧层的保护下，能够提高平面曝光的功率，从而提高聚合反应的速度，有效地增加工作效率，同时，隔氧层能够隔绝氧气的参与，避免了低能量聚合反应不完善的问题。