一种曝光设备及曝光工艺

本发明公开了一种曝光设备及曝光工艺，需要进行曝光时，可以利用X轴移动模组、Y轴移动模组以及曝光模组一起联动对基材进行坐标确认定位，控制模组可以向数字微镜器件发送与所需电路图形对应的数字信号，数字微镜器件根据该数字信号控制内部的微镜快速翻转，在紫外光源的照射下，形成与该数字信号对应的动态光场图形，并将该动态光场图形通过投影镜头投影至基材表面。本曝光设备无需依赖物理掩模版，可以从根本上解决传统曝光工艺中掩模版制作成本较高、图形切换慢的痛点，能够适应小批量、多品种订单的快速生产需求，同时，可以在单次曝光中处理大面积图形，相较于小型激光的扫描方式，可以极大程度地提升曝光效率和精度。