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기록
曝光机的控制方法及系统
발명유효
10청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
冯梦飞; 孙行; 张磊
IPC 분류
G03F 7/20 (2006.01)
本发明提供一种曝光机的控制方法及系统,方法包括连接AGV自动搬运车以及机械臂,并查询AGV自动搬运车以及机械臂的内部端口状态以及内部参数;基于内部端口状态以及内部参数分析连接后的AGV自动搬运车以及机械臂的运动姿态,并规划出运动轨迹;采集曝光机的静平台的坐标位置,并获取曝光机的动平台的坐标位置;根据动平台的基本参数构建动平台的运动矩阵,通过运动矩阵分析静平台与动平台的运动关系;配置控制框架模型,并结合控制框架模型以及系统参数控制AGV自动搬运车、机械臂以及动平台。本发明实现提升上料控制系统以及主控制系统在控制时的联动控制精度,有效提升曝光机的工作效率。