一种载台的快速定位、调平方法

本发明实施例公开了一种载台的快速定位、调平方法，包括：将待定位件置于载台上、并使其与中心孔对应；驱动机构对待定位件施加推力使其与定位轮相抵；吸附结构将待定位件固定在载台上；承托轮承托载台、并将载台往支撑轮方向推送；动力驱动元件驱动压紧座，使压紧轮和支撑轮分别顶靠在载台的两端；持续施加推力，通过压紧轮和支撑轮与定位倾斜面的配合，对载台的两端进行挤压使载台向上移动，完成压紧轮和支撑轮对载台的三点支撑、及对载台的调平。实现了光刻板定位和晶圆所在位置平行度调整的集成、及载台的抽拉式拆装，便于载台和光刻板的取放、且定位精确可靠迅速；保证了光刻板和晶圆的平行度，结构紧凑、集成度高，空间占用率低。