一种面向半导体制造的性能驱动自适应闭环优化动态调度装置

本发明公开一种面向半导体制造的性能驱动自适应闭环优化动态调度装置，属于半导体制造技术领域，旨在解决传统调度方法实时性差、难适配复杂工艺约束与不确定性的问题。装置包括依次通信连接的半导体生产线仿真系统、样本生成模块、离线训练模块及在线调度模块：仿真系统模拟生产输出数据；样本生成模块构建“加工状态‑调度规则‑性能指标”样本集；离线训练模块用PSO‑SVR算法建立性能预测与动态调度模型；在线调度模块实时采集状态与期望性能，调用模型生成最优调度参数并反馈优化。本装置实现调度方案自适应优化，提升实时性与鲁棒性，适用于复杂动态半导体生产线，助力提升生产效率与准时交货率。