气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器

本申请实施例公开一种气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器。方法包括：获取校准罐的第一容积校验参数；获取校准罐的第一气体仅扩散至第二容积的第二容积校验参数；获取校准罐的第一气体扩散至第三容积的第三容积校验参数；获取第四容积校验参数；获取第三容积的第二气体仅扩散至第二容积的第五容积校验参数；获取第三容积的第二气体扩散至第一容积的第六容积校验参数；基于第一容积及上述容积校验参数确定阀门容积。本申请实施例能够准确可靠地确定第二阀门的阀门容积及第四阀门的阀门容积，阀门的阀门容积不再被忽略，同时也不再被当成经验参数进行处理，如此有利于提高气体流量的计算准确度，从而满足半导体工艺的高精度要求。