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기록
一种用于真空环境下维持气压的装置
발명유효
7청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
夏长锋; 曾祥杰; 熊鹏文; 张宇
IPC 분류
G05D 16/20 (2006.01)
本发明公开了一种用于真空环境下维持气压的装置,属于真空设备气压控制领域。该发明旨在解决设备在真空环境下因内外压强差导致内部气压持续泄露,从而影响设备正常工作的问题。本发明的技术方案包括:一个设置于所述设备内部的补压腔体;所述补压腔体内存储有高于所述设备内部气压的气体;所述补压腔体被配置为向所述设备内部释放气体,以补充所述设备因处于真空环境下向外界泄露的气压。本发明通过在设备内部进行同步气压补偿,有效维持了设备气压的稳定,保证了设备的正常运行,提高了系统的可靠性。