用于监控半导体制造EAP系统的方法、系统及图形用户界面

本发明公开了一种用于监控半导体制造EAP系统的方法、系统及图形用户界面，方法包括获取预定义的生产工艺流程，所述流程包含多个连续的生产步骤；将每个生产步骤映射到对应的半导体生产设备及其对应的EAP服务实例；实时采集每个EAP服务实例的多个状态数据；根据所述生产工艺流程的顺序，动态生成一个可视化流程图，所述可视化流程图中的每个节点代表一个EAP实例；根据所述实时采集的状态数据，按照预定义的统一编码规则，动态更新每个节点的视觉外观，以同时表示其多个状态；响应于用户对节点的交互操作，显示该EAP实例的详细信息。本发明通过将EAP状态与生产流程深度融合，显著提升半导体生产的运维效率和故障响应速度。