基于自编码器的干式真空泵故障识别方法及模型构建方法

本发明提供了一种基于自编码器的干式真空泵故障识别方法及模型构建方法，属于半导体干式真空泵故障识别技术领域。通过向泵体安放振动传感器获取振动相关信息，通过将信号调节器和数据采集设备得到正常工作和故障状态下的振动传感器数据并划分为训练集和测试集数据。采用改进的小波阈值振动信号去噪方法保留信号的主要特征。并引入自编码器，结合鲸鱼算法优化参数的优势，动态调节自编码器的权重。提高模型的泛化能力。训练完成后，保存训练好的自编码器模型，将测试集用于训练好的模型中，通过Softmax分类器进行测试分类，根据概率值判断干式真空泵的故障识别特征。为半导体泵体运行监测和故障识别带来更高效、更智能的管理和诊断方案。