一种晶圆检查设备检测到不良自动修正芯片信息图的系统研发

本发明提供一种晶圆检查设备检测到不良自动修正芯片信息图的系统研发，旨在解决现有技术中因人工干预、数据不同步及系统间兼容性问题导致的标记错误、品质隐患及不良品流转风险，通过设置检测单元生成缺陷数据，并经企业信息系统传输至晶圆信息管理模块，实现缺陷数据向控制信号的协议转换与动态映射，结合数据库双校验机制与设备联动控制模块，自动完成晶圆MAP图的状态更新与缺陷坐标可视化标识，该方案提升了缺陷标记准确率与作业效率，降低了误判风险，并实现了缺陷数据的可追溯管理与多系统协同控制。