一种基于改进核主成分分析的微电子系统传感器异常检测方法

本发明公开了一种基于改进核主成分分析的微电子系统传感器异常检测方法，涉及微电子传感技术领域，包括以下步骤：S1、获取目标传感器的稳态正常运行数据和故障数据，并根据稳态正常运行数据构建输入矩阵；S2、对输入矩阵进行标准化，并利用标准化后的训练样本对改进KPCA模型进行训练；S3、得到正交性增强的特征向量矩阵；S4、计算加权马氏距离的T2统计量和局部密度的SPE统计量；S5、计算自适应经验阈值，并利用自适应经验阈值进行异常检测。本发明在训练阶段保存完整的归一化训练特征矩阵，确保了预测阶段核空间构建的一致性，提升了模型的工程适用性与部署稳定性。