一种基于图形识别半导体设备Port的Mapping系统及方法

本发明涉及一种基于图形识别的半导体设备 Port Mapping 系统及方法，包括 RPA 客户端、RPA 服务器端、数据库及通信模块；RPA 客户端安装于设备电脑，用于录制设备/料口状态的识别流程并执行图形采集与识别；RPA 服务器端用于管理客户端、驱动识别流程、对接自动化搬运系统，并基于识别结果进行状态校验；数据库用于存储识别流程、特征库及运行日志。本发明无需改造原厂设备软硬件，通过图形识别与 RPA 技术实现状态统一获取与校验，显著降低自动化改造成本，避免晶圆损坏风险，提升搬运系统安全性与效率，解决了现有半导体设备因界面各异、老旧/进口设备改造难度大且成本高，导致自动化搬运中设备及料口状态难以统一获取与校验的技术问题。