用于半导体EAP系统中虚拟EAP的数据处理方法、系统和电子设备

本公开提供了一种用于半导体EAP系统中虚拟EAP的数据处理方法、系统和电子设备，方法包括：接收针对目标设备的进站指令，并向MES发送携带当前批次标识的进站请求，以在MES中建立当前批次与目标设备的作业关联；响应于接收到的数据采集指令，扫描目标设备的预设输出目录，根据与目标设备匹配的解析规则，对输出目录下的目标结果文件进行解析以提取量测数据；将量测数据发送至MES，并接收MES基于预设规格限反馈的质量判决结果；根据质量判决结果，配置出站操作控件的可执行状态；其中，若质量判决结果指示为不通过，则将出站操作控件设置为锁定状态，阻止当前批次流向下一站点，从而实现非标机台的闭环质量控制。