掩模缺陷检测信号增强方法及系统

本公开提供一种掩模缺陷检测信号增强方法及系统，用于增强掩模检测图像中的缺陷信号，从而提高掩模缺陷检测系统的分辨率。包括：获取检测图像的获取步骤；基于照射到掩模表面的光斑大小，对检测图像进行下采样从而构建图像金字塔的图像金字塔步骤；对图像金字塔顶部的第一层，通过初始化光斑图像，进行图像先验而输出第一层的潜在图像和光斑图像，从图像金字塔的第二层开始，以上一层的光斑图像作为输入，逐层进行图像先验而输出该层的潜在图像和光斑图像，直至图像金字塔底部的最后一层，从而对检测图像进行去模糊处理的去模糊步骤；以及输出最后一层的潜在图像作为对缺陷信号进行了增强后的清晰图像的输出步骤。