一种图像偏移检测方法、装置、设备及存储介质

本申请实施例提供了一种图像偏移检测方法、装置、设备及存储介质，涉及图像处理技术领域，该方法为：获取经掩膜光栅标记和硅片光栅标记所形成的莫尔条纹图像；将莫尔条纹图像输入图像检测模型中，确定莫尔条纹图像存在的偏移量；图像检测模型用于确定莫尔条纹图像存在的角度偏移量，和/或，位移偏移量；所述图像检测模型为深度学习模型；将偏移量发送至控制系统，以使控制系统根据偏移量对掩膜与硅片进行对准调整。通过将掩膜和硅片的光栅标记所形成的莫尔条纹图像输入图像检测模型中，基于深度学习神经网络对莫尔条纹图像进行偏移检测，使得图像偏移检测的准确度更加精准；同时，图像检测模型中网络的参数量较少，因此还可以提升检测的速度。