一种碳化硅外延生长实时缺陷检测方法

本发明涉及碳化硅缺陷检测，公开了一种碳化硅外延生长实时缺陷检测方法，基于分层成像策略与三级维度注意力机制提高检测效率，采用分层成像策略进行全局初检，快速筛选无缺陷样本，规避无效精检；切换至高分辨率小视场成像采集局部图像，为后续检测提供针对性数据，提高检测效率；三级维度注意力机制，通过全局统计池化、局部峰值池化、时序趋势池化三个关联角度强化关键维度，结合维度互信息挖掘关联关系，经双分支权重融合生成维度注意力权重，抑制冗余、强化关键特征；结合图像预处理优化局部图像质量，在CNN‑LSTM混合模型中引入时序注意力以获取时空特征，通过轻量化分类器输出缺陷类别及置信度以提高实时缺陷检测效率。