一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质

本发明公开了一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质，属于晶圆烘干工艺监测技术领域，用于解决现有晶圆烘干工艺中，往往是最终的产出成品监测，难以实现中间环节流程的工艺监测与瑕疵控制，不利于晶圆整体的良品率，容易造成资源浪费技术问题。方法包括：对传输装载完成的晶圆表面进行水膜覆盖下的完整度监测处理；对物理甩干后的晶圆表面图像进行液体负荷识别计算，得到表面水膜斑点图；对表面水膜斑点图进行有关水膜像素下的体积计算；将剩余去离子水膜体积数据与置换后气体数据进行气体浓度反应模型计算处理；对晶圆进行晶圆表面的微观质量检验处理，得到后置处理质量数据；生成用于晶圆烘干流程监测下的烘干工艺监测报告。