一种太赫兹近场系统内部成像高度标定方法及装置

本申请提供一种太赫兹近场系统内部成像高度标定方法及装置，涉及太赫兹近场成像领域，解决现有技术存在太赫兹近场系统内部成像深度具体值难以确定的技术问题。该方法具体包括：获取太赫兹近场成像的表面图与内部图；基于表面图与内部图划分内部材料区域为均匀区与非均匀区；计算均匀区的第一系数，并基于第一系数将均匀区内部图的电压值换算为第一高度；分段计算非均匀区的第二系数，并基于各段对应的第二系数将非均匀区内部图的电压值换算为第二高度；基于基底的表面图与内部图计算高度补偿，将第一高度与高度补偿叠加得到均匀区内部高度标定值，将第二高度与高度补偿叠加得到非均匀区内部高度标定值。本申请用于太赫兹内部成像高度标定。