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기록
集成电路缺陷检测方法及装置
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
발명자
赵玥; 罗军; 王之哲; 张秋镇; 朱青山
IPC 분류
G06V 10/82 (2022.01)G06V 10/25 (2022.01)G06V 10/44 (2022.01)G06V 10/80 (2022.01)G06N 3/0464 (2023.01)G06N 3/045 (2023.01)
本申请涉及一种集成电路缺陷检测方法及装置，其中方法包括：获取待检测的集成电路图像；将集成电路图像输入目标检测模型，得到集成电路图像对应的缺陷检测结果；缺陷检测结果为目标检测模型对集成电路图像的不同尺寸的特征信息进行处理得到的。采用本方法能够实现对不同尺寸的特征信息处理，从而可以对不同尺寸的缺陷进行识别，进而可以提高对集成电路缺陷检测的可靠性。