材料改性方法和材料改性设备

本发明公开了一种材料改性方法和材料改性设备，材料改性方法包括以下步骤：将待改性部件固定于载物台上；获取所述待改性部件的待改性区域在多个角度下的投影形状；基于所述待改性部件的待改性区域在多个角度下的投影形状，控制对应角度的光栅开口形状，使所述光栅开口的形状与所述投影形状相匹配；从多个不同角度，使对应的粒子束经对应的所述光栅开口后辐照所述待改性部件的待改性区域。根据本发明实施例的材料改性方法，通过从不同的角度发射粒子束对待改性部件的待改性区域进行辐照，能够实现待改性区域的图案化和精细化，能够构造出特定的功能区域或改性骨架。