一种电子束斑的自动对中方法

本发明提供一种电子束斑的自动对中方法，属于电子显微镜中电子束斑控制技术领域。通过电子束斑图像提取电子束斑前景；以电子束斑图像中1个像素对应的长度为单位长度，以目标参考中心为原点构建坐标系，并确定电子束斑前景质心坐标；计算电子束斑前景质心与原点间欧几里得距离；当欧几里得距离大于预设公差，执行以下调节步骤：S1采集当前偏转线圈的电流值，并计算偏转线圈的电流调节量；S2将调节量叠加至当前偏转线圈电流值；S3判断调节后的欧几里得距离是否小于或等于预设公差；若否，则重复S1至S3，直至欧几里得距离满足预设公差要求。通过逐步调节偏转线圈的电流值使电子束斑前景的质心与目标参考中心逐渐靠近，实现电子束斑的自动对中。