多带电粒子束描绘方法、装置、使计算机执行的程序产品

本发明提供一种多带电粒子射束描绘方法、多带电粒子射束描绘装置以及用于使计算机执行的程序产品，能够在高精度的描绘装置中不进行硬件的更换而描绘由低精度的描绘装置得到的精度的图案。本发明的一个方式的多带电粒子射束描绘方法，对试样的描绘区域设定使至少一部分栅格的相对位置从呈格子状以等间距排列的多个理想栅格偏离的多个描绘栅格；以使用多射束照射使至少一部分栅格的相对位置偏离的多个描绘栅格的方式，对试样描绘图案。