一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构

本发明属于射频等离子、大口径镀膜用离子源ICP技术领域，具体涉及一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构，包括真空侧组件和大气侧组件；射频源头外壳的侧面与旋转轴盘转动连接，旋转轴盘与联接盒座固定相连；穿过腰型孔的螺栓对旋转轴盘和射频源头外壳的相对位置进行固定；射频源头外壳内设置射频线圈。本方案利用射频输出电缆在大气环境中不易形成无效馈入段的特点，通过联接盒座内的属于大气侧环境d联接腔进行布线，射频输出电缆更多处于大气环境、更少处于真空环境；射频源头外壳的旋转与电缆的形状和长度无关，减少无效馈入段的形成。联接盒密封盖与联接盒座采用斜面安装结构，使得操作更加方便；采用卡套接头，高温密封效果较好。