一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统

本发明提供一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统，涉及磁场极性监测技术领域，用于监测磁场极性是否成功切换，磁场极性监测系统包括控制器、线圈和恒流源设备，控制器被配置为向电源输出电路发送磁场极性切换指令；电源输出电路被配置为向线圈输出目标驱动信号；线圈被配置为响应于目标驱动信号，在刻蚀腔内切换磁场极性；极性监测电路被配置为监测电源输出电路输出的目标驱动信号，并根据目标驱动信号和磁场极性切换指令向控制器反馈磁场极性切换结果。本申请通过增加极性监测电路，可以实现恒流源设备输出磁场极性的主动监测，提高了恒流源设备输出的精确度，提高了线圈的工作效率，也提高了恒流源设备和线圈运行的安全性。