一种用于RGA的新型离子源结构

本发明涉及真空测量与分析领域，公开了一种用于RGA的新型离子源结构。本发明中，离子发射组件为钨灯丝，且钨灯丝两端通过陶瓷绝缘子固定于离子源腔体侧壁，聚焦加速组件包括依次同轴设置的透镜电极、引出电极，气体导入组件为石英毛细管，气体导入组件一端延伸至离子源腔体内部靠近灯丝处，气体导入组件另一端连接外部气路，且冷却组件为环绕离子源腔体外侧的水冷套，水冷套设有进水口与出水口，通过钨灯丝发射和聚焦加速协同组件结构，确保气体分子高效电离，石英毛细管精准导入待分析气体，避免气体扩散导致的电离效率低，水冷套解决传统离子源长期工作过热问题，为RGA精准检测提供稳定离子源基础，适配高真空环境下的气体成分分析需求。