一种增强型慢波接地共面波导传输线结构和相关产品

本申请涉及射频集成电路设计领域，提供了增强型慢波接地共面波导传输线结构，包括：由顶层厚金属层构成的信号传输线；位于信号传输线两侧、并与信号传输线处于同一金属层的共面接地带，其中，共面接地带通过通孔阵列连接至底层金属；以及低层金属屏蔽条带组，其中，低层金属屏蔽条带组由多层金属层并联构成，各组屏蔽条带交替且垂直地排列在所述信号传输线的正下方，并与两侧的共面接地带电性连接，形成一种多层、交替的复合屏蔽结构。本申请的技术方案可以显著降低信号传输损耗，提高相位常数并优化阻抗特性。