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기록
一种铁电薄膜/GaN基红光激光器及其制备方法和应用
발명유효
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
赵丽霞; 潘成兵
IPC 분류
H01S 5/30 (2006.01)H01S 5/343 (2006.01)
本发明属于光电子制造、新材料技术领域,公开了一种铁电薄膜/GaN基红光激光器及其制备方法和应用,所述红光激光器包括由下至上依次相连接设置的衬底、缓冲层、下限制层、下波导层、有源层、上波导层、上限制层、下ITO层、铁电薄膜层和上ITO层,铁电薄膜层能够提供铁电极化,ITO层能够极化铁电薄膜。本发明采用铁电薄膜与GaN基激光器芯片集成,实现高质量红光发光,避开了材料生长难点。本发明采用的铁电薄膜与GaN基激光器集成,利用铁电薄膜的极化效应,直接将外延技术较为成熟的非红光激光器(λ为570~600nm)转变为红光激光器(>620nm),以解决现有的方法难以获得高质量红光发射的GaN基激光器的问题。