一种静电卡盘电源和半导体工艺设备

本发明公开了一种静电卡盘电源和半导体工艺设备，包括电压控制电路、互锁电路、第一开关至第四开关，电压控制电路输出第一电压、第二电压、第一控制信号和第二控制信号，互锁电路根据第一控制信号和第二控制信号，生成第一开关信号至第四开关信号，用于控制第一开关输出第一电压、第四开关输出第二电压，或者，控制第二开关输出第一电压、第三开关输出第二电压，或者，控制第一开关和第二开关分别输出第一电压，或者，控制第三开关和第四开关分别输出第二电压，并控制第一开关和第三开关不同时输出以及第二开关和第四开关不同时输出，以通过单台静电卡盘电源实现四种电压组合的输出的同时，避免静电卡盘电源短路及静电卡盘损毁的问题。