一种适配多级脉冲的电源系统及匹配方法

本发明涉及射频电源技术领域，具体涉及一种适配多级脉冲的电源系统及匹配方法。本发明的电源系统，包括：射频电源，输出多级脉冲；匹配网络，包括机械式可变电容和开关电容阵列，连接在射频电源和负载之间。本发明通过混合阻抗网络和射频电源的频率对多级脉冲进行匹配，以达到快速匹配多级脉冲的目的。同时利用分段匹配的思路，将多级脉冲的第一级脉冲通过机械式可变电容、射频电源频率进行阻抗匹配，在后续脉冲中，保持机械式可变电容的电容值不变，通过开关电容阵列和射频电源频率进行阻抗匹配，用于实现在复杂的多级脉冲过程中，快速、精确的阻抗匹配，确保射频能量高效、稳定地传输到负载。