一种高基频石英晶振晶片及其制备方法

本发明提供一种高基频石英晶振晶片及其制备方法，属于压电晶体器件技术领域，高基频石英晶振晶片包括：晶片本体，晶片本体包括第一区域和第二区域，第一区域的垂向厚度小于第二区域的垂向厚度；第一区域包括厚度切变振动模式的谐振区域，第一区域和第二区域相连接为一体结构，第一区域位于第二区域的宽边一侧；两组电极结构，两组电极结构沿晶片本体的厚度方向分别位于晶片本体的两侧，电极结构包括激励电极和引出电极，激励电极位于谐振区域，引出电极用于电连接同侧的激励电极和基座点胶区域。解决了高基频平片方案存在的结构脆弱、断裂风险大的问题，实现了高基频高强度小型化的石英晶振晶片。