一种薄膜体声波器件及其制备方法

本发明公开了一种薄膜体声波器件及其制备方法，该器件包括：衬底、下电极、压电层、上电极和电极保护层，所述衬底内设有第一空腔，所述第一空腔的边缘设置有台阶结构；所述下电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极嵌设在第一空腔和台阶结构内，在所述第一电极上设置有种子层，所述种子层和第一电极之间设有第二空腔，在所述种子层上设有第二电极，通过金属pad层将所述第一电极和第二电极的边缘连接实现第一电极和第二电极并联，并将并联的第一电极和第二电极引出；所述压电层位于衬底和第二电极上；所述上电极位于所述压电层上；所述电极保护层位于所述上电极上。该薄膜体声波器件电学损耗较低，且稳定性较好。