一种高品质因数的薄膜体声波谐振器及其制备方法

本申请提出一种高品质因数的薄膜体声波谐振器及其制备方法，谐振器设有图形化顶电极；所述顶电极上还设有横向声反射结构；所述横向声反射结构为设置在顶电极内的凹面形的图形组合结构；所述凹面形的图形组合结构被填充或者未被填充。通过调控纵向凹面的角度，使得反射声波在凹面界面处的形成横向声波聚集，并沿不同界面的不同折射角反射并聚集回压电材料的中心，既有效抑制了横向声波的造成的能量泄露，也同时将声波反射回压电薄膜中心，避免形成了横向杂散声波，提高了谐振器的品质因数Q；并避免了在抑制横向声波泄露过程中引入杂散模式。