一种声波谐振器及声波谐振器的制造方法

本申请公开了一种声波谐振器及声波谐振器的制造方法，可应用于谐振器技术领域，该声波谐振器包括：衬底、金属层、压电层以及叉指电极。其中，金属层设于衬底上；压电层设于金属层上。在压电层中，背离衬底的一侧设置有凹槽；叉指电极设于凹槽两侧的压电层上。如此，通过压电层下方的金属层结合压电层中背离衬底一侧设置的凹槽来优化激发声波的振动模式，使其更接近于在介质体内传播的体声波特性，从而无需在提升谐振器工作频率的过程中减小叉指电极的尺寸，进而避免了声波谐振器品质因数的降低，在提升声波谐振器工作频率的同时保证声波谐振器的性能指标。