一种MEMS滤波器及其设计方法

本发明提供一种MEMS滤波器及其设计方法，该MEMS滤波器包括：衬底层；谐振器层，设置于所述衬底层上；所述谐振器层包含多个谐振单元；每个谐振单元均包含非接地端和接地端；其中，至少一个谐振单元的非接地端与一个或多个金属块依次连接；金属层，设置于所述谐振器层上，与所述每个带状谐振单元的接地端电连接，用于实现所述每个谐振单元的接地端接地。该滤波器通过设置能够实现频率调节作用的金属块与带状传输线连接，改变谐振单元的长度，从而调整MEMS滤波器的中心频率，能够在不影响滤波器整体结构稳定性的前提下，灵活调节滤波器的频率响应特性，且通过精确控制金属块尺寸和位置，提高器件集成化和小型化程度。