具有宽频响应的压电MEMS声波发射单元及MEMS器件

本申请公开了一种具有宽频响应的压电MEMS声波发射单元及MEMS器件，属于微机电系统技术领域。该压电MEMS声波发射单元采用环状压电驱动结构与高杨氏模量薄膜的复合设计方案，通过优化振动耦合机制，实现了宽频带与高声压输出的协同提升；整体结构设计兼容标准MEMS工艺，在保持器件微型化的同时，显著提升了工作带宽和声压输出性能。该技术方案特别适用于超声检测/成像，以及压电MEMS扬声器等专业领域，为高性能压电式微机械声波发射单元的发展提供了新的技术路径。