一种加热电源系统

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种加热电源系统，包括：总控模块、采样模块及至少一个单元机模块，其中，采样模块用于采集加热电源系统的总输出电压及总输出电流；总控模块与采样模块连接，总控模块用于基于总输出电压及总输出电流，并结合预设给定值进行数字控制环路运算后，生成模拟控制信号；每个单元机模块均与总控模块连接，每个单元机模块均用于基于模拟控制信号，利用自身内部的模拟控制环路进行运算后，生成用于调节自身输出功率的驱动信号；每个单元机模块的输出功率汇总后作为加热电源系统的总输出功率。本发明能够提高带宽、增强系统抑制扰动能力以及对稳定输出的控制能力，提高加热电源的输出精度及稳定性。