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기록

一种基于磁偏转效应的双通道离子能量探针

발명유효
1조회수
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

胡鹏; 李永; 刘旭辉; 姚兆普; 严浩; 强艳军; 周磊; 李胜军; 臧娟伟; 路松才

IPC 분류

H05H 1/00 (2006.01)

本发明涉及等离子体探测技术领域,特别涉及一种基于磁偏转效应的双通道离子能量探针。本发明提供一种基于磁偏转效应的双通道离子能量探针,包括上永磁板、下永磁板、双通道准直器和双通道探针;双通道准直器穿入外壳,双通道准直器包括扫描通道和参考通道,扫描通道和参考通道连接不同数值的电压,双通道准直器用于使离子沿通道方向进入外壳内,上永磁板和下永磁板分别固定在外壳的上下两端,以形成均匀磁场,双通道探针设置在外壳中,包括分别与扫描通道共面的扫描收集探针和与参考通道共面的参考收集探针,扫描收集探针和参考收集探针分别连接不同数值的电压。本方案能够提供一种高信噪比的离子电流探针。