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案件記録
一种双通道瞬态等离子体参数测量系统
発明有効
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
胡鹏; 李永; 刘旭辉; 严浩; 韩道满; 蔡坤; 扈延林; 龙军; 崔力凡; 赵立伟; 黄亚楠; 谢继香
IPC分類
H05H 1/00 (2006.01)
本发明涉及等离子体探测技术领域,特别涉及一种双通道瞬态等离子体参数测量系统。一种双通道瞬态等离子体参数测量系统,包括轴向的法拉第探针和多个周向分布的能级选择探针,所述法拉第探针用于测量离子的总电流,每个所述能级选择探针沿径向由内向外依次包括互不连接的内屏蔽极、收集极和外屏蔽极,所述内屏蔽极和所述外屏蔽极施加正偏压,所述收集极连接与其外部两个屏蔽极偏压值相同的正偏压,多个所述能级选择探针沿轴向连接的正偏压按等差数列依次增大。本发明实施例能够提供一种融合多种测量能力、响应更快的复合型探针系统。
外部リソース