一种自冷却等离子源

本发明属于等离子源装置领域，具体涉及到一种自冷却等离子源。自冷却等离子源包括内管、外管和双管同轴连接器；双管同轴连接器实现内管和外管的同轴连接；所述内管的一端用于连接供气装置，另一端用于连接真空腔室；还包括套设在外管外用于对内管内的气体进行电离的电磁线圈射频电离装置；所述内管和外管之间用于流通冷却介质，所述内管和外管为透明石英材质制备；还包括用于通过内管和外管观察内管内电离情况的光学检测装置。本自冷却等离子源能同时实现内管和外管的可靠密封、精确同轴并兼顾高效冷却与无损光学检测。